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会议论文
硅微电容式加速度传感器闭环控制系统的研究
硅微电容式加速度传感器闭环控制系统的研究
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:WatsonWen
【摘 要】
:
本文介绍了一种利用MEMS技术中的三维成形腐蚀技术及多掩膜和无掩膜腐蚀工艺研制而成的结构新颖的硅微电容式加速度传感器,并对其结构、工作原理、传递函数、闭环控制系统及
【作 者】
:
吴英
温志渝
江永清
蒋子平
胡松
陈刚
【机 构】
:
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室(重庆)
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
硅微
电容式加速度传感器
闭环控制系统
无掩膜腐蚀
三维成形
结构新
腐蚀技术
工作原理
工艺研制
传递函数
测试结果
多掩膜
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本文介绍了一种利用MEMS技术中的三维成形腐蚀技术及多掩膜和无掩膜腐蚀工艺研制而成的结构新颖的硅微电容式加速度传感器,并对其结构、工作原理、传递函数、闭环控制系统及相应的测试结果进行了研究和讨论.
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