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会议论文
利用原子制作纳米图形
利用原子制作纳米图形
来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:duanluchao
【摘 要】
:
介绍了利用激光场对原子束进行准直和聚焦,制作纳米图形的基本原理,实验方案,制造纳米尺寸图形结果,并指出该技术的发展前景。
【作 者】
:
陈旭南
罗先刚
【机 构】
:
科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)
【出 处】
:
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
1999年11期
【关键词】
:
原子光刻
纳米图形加工
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介绍了利用激光场对原子束进行准直和聚焦,制作纳米图形的基本原理,实验方案,制造纳米尺寸图形结果,并指出该技术的发展前景。
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