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介绍了利用激光场对原子束进行准直和聚焦，制作纳米图形的基本原理，实验方案，制造纳米尺寸图形结果，并指出该技术的发展前景。
利用原子制作纳米图形
【摘 要】
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介绍了利用激光场对原子束进行准直和聚焦，制作纳米图形的基本原理，实验方案，制造纳米尺寸图形结果，并指出该技术的发展前景。
【机 构】
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科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年11期
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