原子光刻相关论文
采用不同网格尺寸的透射电镜铜网作为掩模,采用烷烃硫醇类小分子自组装单层作为光刻胶,光学质量的云母为衬底,用亚稳氦原子光刻技......
原子通量是影响原子光刻技术制备纳米光栅质量的主要因素之一。应用原子炉管喷发量的理论模型,利用理论与实验相结合的方法,对比研......
激光会聚铬原子沉积实验所需时间可长达几十分钟至几个小时, 实验过程中要求激光频率的波动小于5MHz, 感生荧光稳频技术能够解决原......
介绍了刀口法测温原理。在自主研制的铬原子光刻系统上，利用稳定到52Cr的7S3→7P04跃迁上的真空波长为425.5 nm的激光，对高温原子炉......
采用近共振激光驻波场会聚铬原子沉积技术制作的原子光栅可以作为纳米级长度计量标准。基于粒子光学模型，综合考虑横向发散角、纵向......
利用蒙特卡罗随机思想选取轨迹初始条件,将铬原子束同位素、纵向速度分布和横向高斯发散角等因素综合考虑,对原子光刻经典粒子模型......
纳米科学技术将成为新世纪信息时代的核心 .纳米量级结构作为研究微观量子世界的重要基础之一 ,其制作技术是整个纳米技术的核心基......
原子光刻光栅的研制存在光栅上纳米周期结构覆盖面积小和纳米条纹高度不一致的问题,限制了原子光刻光栅的应用.本文介绍通过椭圆光......
实现纳米光栅和纳米点的原子光刻技术是有一定前提条件的，由于原子束的横向发散角和通量的大小会直接影响纳米沉积条纹或纳米沉积点......
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验.用栅网作掩膜,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂,在硅片......
原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜......
亚百纳米长度计量标准是实现在纳米尺度精确计量的关键器件。我们课题组已利用原子光刻技术研制出了周期为213±0.1nm的光栅，该光栅......
研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性,数值结果显示在激光功率较高的情况下,有实现原子光刻的可能.在单......
对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论 ,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求。......
近年来，有关原子光刻的实验研究得到了快速发展，并取得了一系列重大的实验进展。在原子光刻中，对不同原子在各种条件下的沉积过程的研......
本文采用基于激光感生荧光（LIF）的位移探测系统检测了铬原子束中轴向定量百分比原子数的冷却准直发散角,评价了激光的多普勒冷却准直......
纳米结构制作技术中，原子光刻具有独特的优势。为了能够达到纳米制作的要求，并得到所需的沉积条纹，设计了二套实验装置，并分别对原子光......
文章对原子光刻进行了深入的分析，介绍了其基本概念、工作机理、相关实验方案，针对原子光刻的原子捕获、激光稳频、原子束聚焦和沉积......
原子光刻技术中，良好原子源的产生是最为基础的条件。针对实验中对原子束的具体要求，设计了一套超高真空原子源产生装置，主要参数为：系......
采用铬原子束激光感生荧光激光稳频技术解决铬原子光刻实验中激光频率随时间漂移的问题．从理论和实验两个方面对铬原子束激光感生荧......
间距为半波长的纳米点制作可以进一步推动纳米计量的发展.基于经典粒子光学模型,采用蒙特卡罗思想提供初始条件,数值分析了偏振方......
在铬原子光刻中可采用铬原子束激光感生荧光（LIF）来实现激光频率的稳定,以满足原子光刻对激光频率稳定性的要求.激光感生荧光稳频技......
原子光刻系统的设备庞大而复杂,在实验过程中温度及稳频光等参数都需要监视和控制.针对目前多采用人员值守的方式对设备进行操控导......
为了说明原子光刻（Atom Lithography）在纳米计量及传递作用中的特殊地位，首先对纳米计量标准及其现状进行了简要介绍，提出纳米计量中原......
利用近共振激光驻波场操纵中性原子实现纳米量级条纹沉积技术，是一种新型的研制纳米结构长度标准传递的方法，其中原子柬的横向激光冷......
为了满足原子光刻对原子束准直度的要求，设计了一套激光多普勒冷却原子束装置，对铬原子束实施横向多普勒冷却．利用腔外倍频的掺钛蓝宝......
原子光刻是原子光学在微细加工技术领域的新应用.在对各种材料和真空泵性能综合考虑的基础上,设计并建立了一台用于原子光刻的超高......
选取不同尺寸和形状的物理掩模,以硅表面直接生长的十八烷基硅烷小分子自组装单分子层作为抗蚀剂,硅（100）为衬底,亚稳态氦原子作为曝......
利用多普勒原理对Cr原子束进行横向准直.为了得到好的激光准直效果必须首先把激光的中心频率稳定在偏离Cr原子共振中心频率-5±......
利用量子理论，通过CRANK—NICOLSON数值方法对23Na原子受激光驻波场作用的物理过程进行模拟．模拟结果表明：正失谐时，原子以λ／2为周期会......
针对原子光刻技术在纳米计量及传递作用中的特殊地位,介绍了该技术的基本原理、方案、刻及Cr原子光刻实验.通过与其他微刻印方法的......
为了探究原子光刻中基片与会聚激光场间距对沉积纳米光栅质量的影响,我们基于VirtualLab Fusion（VLF）平台实现了基片定位控制方案中......
原子光刻实验中,激光驻波场能起到原子透镜的效果,实现原子汇聚.激光驻波场与沉积基片间的距离对形成纳米条纹结构的质量具有重要......
以铬原子为例,分析了激光与铬原子束相互作用的两种力即对铬原子束实施激光冷却的耗散力和对铬原子束实施汇聚的偶极力的特性,继而......
介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理.针对具体的实验系统,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的CCD......
采用不同网格尺寸的透射电镜铜网作为掩模，以烷烃硫醇类小分子自组装单层作为光刻胶，光学质量的云母为衬底，用亚稳氦原子光刻技术制备......
通过分析52Cr原子光刻对激光系统的技术要求,详细介绍了一种基于原子束激光感生荧光(UF)光谱技术的稳频方法.......
