面向消费类电子产品的石墨烯薄膜的工业化制备批量与卷对卷工艺

来源 :2015中国国际石墨烯创新大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:abczxhzxh
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  在没有制定石墨烯在消费类电子产品中的尺寸大小,均匀性和可靠性的工业标准前提下,石墨烯在消费类电子产品上的实际用途并没有显现出来。最近,大规模的石墨烯薄膜通过无氢快速热化学气相沉积的方法(RT-CVD),卷对卷蚀刻和转移的方法被开发出来。这种方法能够在符合工业标准的前提下,更快、更大规模的生产均匀的石墨烯薄膜。这使得石墨烯薄膜的电容式多点触控装置能够安装在最先进的手机上。最近,我们已经开发出一种卷对卷RT-CVD系统,可以在卷铜薄片上实现连续合成石墨烯薄膜。本文中会列举使用卷对卷对位技术生产的优点及挑战并与批处理生产进行对比。
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