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基于MATLAB的硅各向异性全腐蚀速率图
基于MATLAB的硅各向异性全腐蚀速率图
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:welson926
【摘 要】
:
本文利用数学软件MATLAB,对三维中的向量进行插值计算,构造出了一个完整的硅各向异性腐蚀速率图.
【作 者】
:
张佩君
黄庆安
【机 构】
:
东南大学微电子中心(南京)
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
各向异性
数学软件
腐蚀速率
插值计算
向量
三维
构造
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本文利用数学软件MATLAB,对三维中的向量进行插值计算,构造出了一个完整的硅各向异性腐蚀速率图.
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