【摘 要】
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太赫兹频段是对一个特定波段电磁频率的统称,它在电磁波谱中位于微波和红外辐射之间.太赫兹与微波毫米波相比,具有超高频性、透视性、安全性等特点.太赫兹探测器是太赫兹
【机 构】
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专用集成电路重点实验室,石家庄 050051
【出 处】
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2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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太赫兹频段是对一个特定波段电磁频率的统称,它在电磁波谱中位于微波和红外辐射之间.太赫兹与微波毫米波相比,具有超高频性、透视性、安全性等特点.太赫兹探测器是太赫兹技术的核心器件之一,现有的超导、热电子辐射等太赫兹探测器普遍存在相应速度慢,价格昂贵、超低温工作和不易集成等诸多缺点,在很大程度上限制了太赫兹技术的集成应用和发展.1996年,俄罗斯科学家提出了HEMT二维电子气中等离子体激元的存在,并预言了利用这个原理可以制备出发射和探测太赫兹的器件.1998年,J.Q-Ln等人制备了第一个基于HEMT等离子激元震荡的太赫兹探测器,近年来器件的性能不断提高,2010年日本松下公司,制备了基于GaN材料的器件,在0.2到1.5THz室温下最高响应度达到了1100V/W,2012年Takayuki Watanabe等人采用双周期复栅结构,获得了2200V/W的响应度和15pW/Hz1/2的等效噪声功率.2012年,IEEE EDL杂质上报道了以等离子体激元探测器作为接收端的太赫兹通信演示系统.国内的中科院苏州纳米所和上海技术物理所也在这方面开展了相关的研究.
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