补偿对铁硼对的影响

来源 :第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12) | 被引量 : 0次 | 上传用户：qingkonglanglang

【摘要】

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本文研究了经过铁沾污的P 型硼-磷补偿晶体硅.我们发现补偿影响了FeB的热力学性质.先用寿命法得到了Fe 浓度随温度的变化,然后比较了从室温到260℃ 这个温度区间里,补偿和非

【作者】

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朱笑东余学功杨德仁阙端麟

【机构】

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浙江大学硅材料国家重点实验室杭州 310027

【出处】

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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

【发表日期】

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2012年期

【关键词】

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补偿晶体硅结合能热力学性质温度区间浓度度曲线沾污样品寿命室温

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本文研究了经过铁沾污的P 型硼-磷补偿晶体硅.我们发现补偿影响了FeB的热力学性质.先用寿命法得到了Fe 浓度随温度的变化,然后比较了从室温到260℃ 这个温度区间里,补偿和非补偿晶体中Fe 浓度曲线的不同.非补偿样品中FeB 的结合能Eb=0.65±0.03 eV,而非补偿和补偿晶体中FeB 对结合能的差别ΔEb=0.06 eV.

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