【摘 要】
：
本文旨在优等化离子体化气相学沉积法(PECVD)在太阳能级n 型直拉单晶(Cz)硅衬底上沉积i a-Si:H 薄膜工艺,得到更好的钝化效果.实验研究了气体流量和温度、气压等工艺参数对薄
【机 构】
：
南昌大学太阳能光伏学院&材料科学与工程学院,江西 南昌 330031
【出 处】
：
第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)
论文部分内容阅读
本文旨在优等化离子体化气相学沉积法(PECVD)在太阳能级n 型直拉单晶(Cz)硅衬底上沉积i a-Si:H 薄膜工艺,得到更好的钝化效果.实验研究了气体流量和温度、气压等工艺参数对薄膜沉积和硅片钝化效果的影响.通过优化参数,钝化后在太阳能级n 型Cz 硅片(40*40mm)上用WT-2000PV(微波反射光电导衰减法(WMPCD))测试得到的硅片平均少子寿命值在800us 以上,局部在1500us 以上,得到了钝化后平均表面复合速率S<9.4cm/s 的优良钝化效果;若硅片的体少子寿命为2ms,则S<5.6cm/s.
其他文献
热氧化钝化工艺是降低表面复合、提高太阳电池电性能的重要手段.本文采用链式氧化工艺,在经过制绒、扩散、刻蚀、清洗后P 型单晶硅片表面热生长一层薄SiO2膜,达到降低表面态
本文以自制固体蚀刻剂代替传统HF 制绒工艺,对多晶硅表面的制绒进行研究并优化制绒工艺.固体蚀刻剂和硝酸以合适的比例可以在在常温下进行多晶硅表面制绒,且能在多晶硅片上制
本文通过镓和磷共掺杂来实现补偿,研究了补偿对晶体性质的影响.研究发现镓磷补偿降低了空穴(多子)和电子(少子)的迁移率,有意思的是迁移率的下降值远低于基于Klaassen 模型的
矽肺性肺心病急性加重期心律失常临床分析广东省韶关市职业病防治院（西堤中路，５１２０００）陈江生心律失常是矽肺性肺心病的常见并发症之一，在并发肺部急性感染的情况下更易发生。我院１９９０～１９９５年期间
太阳电池正面电极的遮光面积和串联电阻是影响电池转换效率的重要因素,减少遮光面积和串联电阻是提高电池转换效率的重要手段.本文介绍了二次印刷技术的开发成果,在不增加银
本文用自组装微球做膜板,通过反应离子刻蚀(RIE)技术,在晶硅衬底上制备了大小均一、排布高度有序的纳米棒阵列,获得了反射率较低的表面.采用热丝化学气相沉积(HWCVD)工艺,在