硅片减薄用超精磨削金刚石砂轮制备技术研究现状

来源 :第二十一届中国超硬材料技术发展论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kingper
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磨料团聚现象严重,砂轮气孔率低,自锐性差是目前超精磨削金刚石砂轮的主要问题.为了解决这些问题,国内外近年来开展了大量的研究.本文主要综述了国内外运用表面改性,表面包覆法等对改善超细金刚石团聚的研究现状,介绍了采用化学发泡法,浸渍法,高分子网络凝胶法等制备超精磨削砂轮的工艺特点,并分析了这些方法的优点与不足.
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