【摘 要】
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Cu是硅中最重要的快扩散金属杂质之一,本文研究了在快速热处理情况下下Cu沾污对多晶硅少子寿命的影响。低温下的Cu沾污(400℃、500℃)会是的多晶硅少子寿命上升,而高于这个温
【基金项目】
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国家自然科学基金(60544006);浙江省可再生能源利用技术专项(2006C11275)资助
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Cu是硅中最重要的快扩散金属杂质之一,本文研究了在快速热处理情况下下Cu沾污对多晶硅少子寿命的影响。低温下的Cu沾污(400℃、500℃)会是的多晶硅少子寿命上升,而高于这个温度的Cu沾污会引起少子寿命不同程度的下降,温度越高,寿命下降越厉害。另外,Cu沾污冷却速度对少子寿命也有影响,相同沾污温度下,淬冷样品寿命值要低于慢冷样品。
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