用化学气相沉积方法制备MoO3纳米片

来源 :第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a522599301
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MoO3是一种间接宽带隙氧化物材料(>3ev),由于其独特的结构、优异的光学性质和良好的稳定性,MoO3在很多领域都很有应用前景,例如可用于制作紫外光电子器件、有机太阳能电池中的缓冲层以及光阳极等.MoO3纳米片材料具有大的比表面积,可能更有利于制作电子器件.目前制备MoO3纳米片的方法有蒸镀法、电化学沉积法、溅射法、溶胶凝胶法等.使用了化学气相沉积(CVD)方法来制备MoO3纳米片,获得了单晶MoO3纳米片.以MoO3粉末为蒸发源,H2为载气及还原气体,在硅片上收集MoO3纳米片。用扫描电镜观察了产物,发现纳米片呈六边形,直径约为几百纳米,厚度约几十纳米。透射电镜观察和选区电子衍射(SAED)表明纳米片为单晶MoO3。对纳米片做Raman谱测量,光谱峰与MoO3薄膜的谱峰相符,证明成功制备了M003纳米片。还分析了MoO3纳米片的生长机理,认为在合适的加热温度下,蒸发出的MoO3会与H2反应生成MoO3-x(0
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