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Mo/B4C多层膜是6.7~8nm波段高反射率反射镜较好的材料组合,用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜,得到了相应的结构参数,采用直流磁控测射方法实现了Mo/B4C多层膜的制作。运用同步辐射光原完成了Mo/B4C多层膜反射率的测量,结果表明在7.025nmth Mo/B4C多层膜的近正入射反射率为21%。