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本文阐述了“逐层”设计的理论基础，膜材选择的基本原则，推导了多层膜反射率递推公式。以光学工程中常用材料熔融石英和硅为基底......
Mo/B4C多层膜是6.7～8nm波段高反射率反射镜较好的材料组合，用遗传算法优化设计了Mo/B4C多层膜，得到了相应的结构参数，采用直流磁控测射......
针对极紫外多层膜在激光等离子体诊断、极紫外光刻等方面的应用,进行了Mo/Si多层膜残余应力的实验研究,讨论了多层膜残余应力的成......
论文第一章从x射线光源、x射线光学元件和x射线多层膜的发展和研究状况给出了简要的综述。 第二章讨论了理论设计和性能分析问......
