【摘 要】
:
硅通孔(TSV)作为重要的信号、电源通道,在三维集成电路中有着极其重要的作用,但是实际工艺中,由于工艺操作及环境等因素,会导致TSV的开路及短路缺陷。文章针对以上两种不同的缺陷
【机 构】
:
西安理工大学陕西省军民两用集成电路设计中心,陕西 西安 710048
【出 处】
:
第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
论文部分内容阅读
硅通孔(TSV)作为重要的信号、电源通道,在三维集成电路中有着极其重要的作用,但是实际工艺中,由于工艺操作及环境等因素,会导致TSV的开路及短路缺陷。文章针对以上两种不同的缺陷,提出了一种使用双锁存器结构对两种缺陷进行分析测试的方法.该结构无需外接参考电压及测试电路,与数字工艺库及数字集成电路兼容性强,结构简单,具有面积小,速度快,功耗小等优点,尤其适用于超大规模集成电路的测试,也可对键合前及键合后的芯片进行测试.对提案方法采用UMC 110nm标准单元库进行了模型建立、测试系统搭建和测试分析,结果表明,测试电路可以对不同等级的缺陷进行检测,对3D大规模集成电路的可测试性研究具有重要的意义.
其他文献
本文从海洋与气候变化等重大前沿科学与应用对空间海洋观测系统的需求出发,基于当前国内外空间激光技术水平与前期海洋激光遥感的探索,提出了海洋遥感从二维向三维发展的紧迫性,并将海洋剖面探测激光雷达作为未来"海洋三维遥感"的主要技术手段。本文对近50年国内外激光海洋剖面探测技术的理论与应用、基础性关键探测机理问题,尤其是近10年来的试验性探索及其在多个海洋科学问题中的应用进行了综述。结合中国自主"观澜号"
由于冬季的气温大多在10摄氏度以下,关节炎的侵袭是一大问题。在冬天穿着裙装,双腿会受到寒气的侵袭,出现发凉、麻木、酸痛等症状。尤其是那些皮下脂肪偏少的女性朋友,更容易
本文研究了基于T公司生产的某型号正性光阻,采用错位叠加紫外曝光工艺,实现灰阶曝光效果的方法,最终得到具有特定角度的楔形斜面结构。光阻在进行紫外感光前后,对紫外光的吸收系数α会发生变化,根据朗伯比尔定律(Lambert-Beer law),将楔形斜面结构等效成台阶状结构,并通过实验计算出使该光阻发生光解反应的临界曝光能量I、光阻感光前后的吸收系数α和α′,并进一步根据等效模型结构得到错位叠加曝光过程
本文提出了一种的电流复用差分低噪声放大器结构.NMOS和PMOS晶体管对复用同一路静态电流.普通的电流复用差分低噪声放大器同时在NMOS管和PMOS管上采用源端电感负反馈形成输入
粤港澳大湾区是中国重点建设的战略区域,其协同结构的有效认知是打造世界级湾区的核心研究内容。作为一种重要的城镇群发展模式,大湾区内部具有复杂的城镇协同关系,这一关系充分体现在城镇间的人群流动特性上,而跨城职住迁徙是区域人口流动的一种直观、稳定的表现,基于高精度跨城职住迁徙数据开展湾区协同结构的认知意义显著。文章在总结归纳国内外湾区协调发展研究、跨城职住综合应用研究的基础上,基于百度地图所识别的跨城职
在TFT制程中,曝光工艺直接影响到薄膜的最终图案质量。为了分析与解决曝光色差问题,需对面板的点灯现象与制备工艺进行调查与研究。首先,通过扫描电子显微镜分析、错位曝光试验、数据分析等方法进行不良原因调查。同时,借助开源软件GIMP和Fiji进行图像处理得到面板灰度数据,对色差程度进行定量评价。然后,通过调整曝光设备照度均一性与管控最优生产路径,曝光色差发生率从10%以上降至1%以内,有效改善面板显示
CDR(Clock Data Recovery,时钟数据恢复)电路是高速串行IO接口接收端的核心部分,抖动容限是衡量CDR电路性能的重要参数之一.本文提出了一种基于BIST(Build-In Self-Test,内建
一、品种选择栽培秋延迟矮生菜豆宜选用适应性比较强、对温度适应范围广、早熟、丰产的品种,如北京快豆、黑地芸豆、矮早18、冀芸2号、新西兰3号等。适宜搭架栽培的菜豆品种
本文设计了一款全集成CMOS超宽带低噪声放大器.应用片上高通滤波网络和感性源极退化技术,实现了低噪放带内的输入匹配.低频段的高增益特性和高频段的噪声匹配使得带内保持低
滤波器是数字信号处理中最重要的运算之一.在雷达信号处理器中,可配置的FIR滤波器的应用,可使雷达信号处理器针对不同需求,更好的完成任务.本文主要设计了可配置滤波阶数与滤