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真空平板显示器的底板主要由场发射阴极和金属栅极构成。该文报告了Ｔｉ－Ｗ－Ａｕ三层金属栅极代替过去的铝栅，解决了栅与绝缘层ＳｉＯ<,2>的附着问题和金属离子迁移问题从而便于压焊引线。该文报告了氧化削尖对准工艺解决了栅阴套准的问题。
氧化—削尖自对准多层金属栅的工艺研究
【摘 要】
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真空平板显示器的底板主要由场发射阴极和金属栅极构成。该文报告了Ｔｉ－Ｗ－Ａｕ三层金属栅极代替过去的铝栅，解决了栅与绝缘层ＳｉＯ的附着问题和金属离子迁移问题从而便于压焊引线。该文报告了
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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第五届全国场致发射学术讨论会
【发表日期】
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1994年期
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