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超精密加工误差产生的原因主要是外部因素,如:力会使机床系统产生振动或变形,环境的热量和切削热会使机床、刀具或被加工物产生变形、工具的磨损会造成零件尺寸的变化等。分析这些因素对加工精度的影响,并找出解决措施,是超精密加工技术研究的重要内容。该文在分析上述因素的基础上,提出了在超精密加工机床设计制造时,在本体构造、驱动要素、主轴系统和工作台系统等方面应注意考虑的问题。