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为了减少酸性蚀刻药水耗用及提升蚀刻效果,提高均匀性,对内层的蚀刻线的补偿及溢流系统进行观察及思考。以下就此等进行探讨及改造。1)药水降低耗用:调整溢流位置,使溢出的有用物质减少,埋入缸底,减少HCL的挥发。2)提升均匀性:提升药水扩散能力,各位置浓度更均匀。稳定控制比重,保证均匀性。3)提升质量:提高缸的洁净程度,减少铜点等。