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该文介绍了利用多晶硅还原生产中产生的高温导热油对分镏塔加热，将热能充分利用，可节约能源，保证产品质量，降低生产成本。
分馏塔用导热油加热及其自动控制
【摘 要】
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该文介绍了利用多晶硅还原生产中产生的高温导热油对分镏塔加热，将热能充分利用，可节约能源，保证产品质量，降低生产成本。
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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