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激光纳米非晶Ｓｉ<,3>Ｎ<,4>粉热处理过程中的晶化及微结构变化研究
【机 构】
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中国科学院金属研究所
【出 处】
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’94秋季中国材料研讨会
【发表日期】
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1994年期
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