镧掺杂BiGaO3多晶薄膜光学性质研究

来源 :第十七届全国凝聚态光学性质会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dsgver5r33

【摘要】

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　　采用溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同镧掺杂浓度BiGaO3 (BLGOx)薄膜.X-射线衍射(XRD)表明该属于正交晶系的多晶薄膜，原子力显微镜(AFM)图像显示样品表面具

【作者】

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张金中诸佳俊褚君浩邓青林李亚巍胡志高余温雷孟祥建

【机构】

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华东师范大学信息科学技术学院电子工程系,上海200241

【出处】

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第十七届全国凝聚态光学性质会议

【发表日期】

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2014年期

【关键词】

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镧掺杂多晶薄膜薄膜光学掺杂浓度原子力显微镜椭圆偏振技术紫外探测器正交晶系

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　　采用溶胶-凝胶技术在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同镧掺杂浓度BiGaO3 (BLGOx)薄膜.X-射线衍射(XRD)表明该属于正交晶系的多晶薄膜，原子力显微镜(AFM)图像显示样品表面具有很好的平整性.采用椭圆偏振技术对其光学性质进行了详细的研究，发现其光学常数符合Adachi色散模型.进一步发现其禁带宽度随着镧掺杂浓度的增加而增加，该规律与理论预言相吻合.有关BLGOx材料的研究为铋基光电器件如紫外探测器的实现提供物理基础支持.

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