【摘 要】
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本文报道了国内首次研制的具有平顶陡边光谱响应的谐振腔增强型(RCE)光电探测器的实验结果,其响应光谱所具有的明显的耦合腔效应证明了我们独立提出的器件结构的正确性和可行性.我们通过高精度可控腐蚀的方法精确控制腐蚀的厚度从而对第一个腔的模式波长进行调整.腐蚀后测量的结果与模拟得到的结果非常吻合,最后探测器得到了初步具有平顶陡边的光谱响应.
【机 构】
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中科院半导体所光电子工艺中心(北京)
【出 处】
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第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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本文报道了国内首次研制的具有平顶陡边光谱响应的谐振腔增强型(RCE)光电探测器的实验结果,其响应光谱所具有的明显的耦合腔效应证明了我们独立提出的器件结构的正确性和可行性.我们通过高精度可控腐蚀的方法精确控制腐蚀的厚度从而对第一个腔的模式波长进行调整.腐蚀后测量的结果与模拟得到的结果非常吻合,最后探测器得到了初步具有平顶陡边的光谱响应.
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