红外截止滤光片是一种精密光学薄膜元件,是具有在可見光区域高透过率,近红外区域截止反射的光学滤光片。主要用在可拍照手机、电脑内置摄像头、汽車摄像头、数码摄像机、安防监视机、可视电话等成像系统中用CCD或CMOS图像传感器的领域。使拍摄的图像为彩色,与人眼观看的图像一致。近几年来,随着在通讯科学数码影像和光电技术等广泛应用,它的市场前景和市场容量也和这些产品密切相关,十分可观。发展迅速。红外截止滤光片是利用精密光学镀膜技术,在光学玻璃上交替镀上多层高折射率和低折射率材料的光学薄膜,膜层厚度(d)和折射率(n)是影响红外截止滤光片薄膜性能的二个主要参数,只有确保所镀薄膜每层的折射率‘n’和膜层厚度‘d’达到设计膜系要求,才能保证红外截止滤光片性能满足使用要求。而薄膜折射率(n)除与材料性能有关外,还与成膜条件有关。成膜条件不同,即使是同种材料,其折射率差别也较大。为此,对采用热蒸发(电阻蒸发和电子束蒸发)镀制薄膜的镀膜机的镀膜室主要性能提出了要求。并要求运用离子源辅助蒸发工艺,以改善膜层性能,消除薄膜柱状晶体结构,提高其致密性。要确保镀膜时的动态真空度、基片温度和蒸发速率都保持恒定。为适应大规模批量生产,开发运用大规格具有全工艺过程自动化系统,参数的显示系统和故障自动诊断系统的镀膜设备,生产中不需人工干預手动操作。实现高质量,高效率,低成本生产,满足市场需求.很有必要,。