【摘 要】
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单光子探测技术是量子通信系统中量子密钥分发实现的关键技术之一.超导纳米线单光子探测器(Superconducting Nanowire Single Photon Detector,SNSPD)作为一种新型的单光
【机 构】
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中国科学院物理研究所,北京100190
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单光子探测技术是量子通信系统中量子密钥分发实现的关键技术之一.超导纳米线单光子探测器(Superconducting Nanowire Single Photon Detector,SNSPD)作为一种新型的单光子探测技术,在量子通信等众多领域有着广阔的应用前景.要想制备有高性能的SNSPD,必须有高质量大面积均匀的折线形超导纳米线结构.电子束曝光(EBL)是传统的制备折线形超导纳米线结构的方法.本文介绍了一种新型的制备NbN超导折线形纳米线的工艺方法和工艺流程,即纳米压印光刻技术.我们通过采用热压印和紫外压印结合的方法将纳米压印硬模板上的纳米线结构转移到超导NbN薄膜上,成功制备出均匀的NbN折线形纳米线结构.超导NbN折线形纳米线的超导临界温度约为5K,在温度为2K时,临界电流约为3.5μA.
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