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本文详细介绍了小压差产品真空检漏方案及检漏的整个过程，通过对检漏产品、容器同时抽气控制抽气速率满足小压差检漏要求。并对具体工艺流程的实施进行了细致地讨论，希望能为以后的此类检漏提供一些帮助。
小压差产品氦质谱真空检漏技术
【摘 要】
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本文详细介绍了小压差产品真空检漏方案及检漏的整个过程，通过对检漏产品、容器同时抽气控制抽气速率满足小压差检漏要求。并对具体工艺流程的实施进行了细致地讨论，希望能为以后的此类检漏提供一些帮助。
【机 构】
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北京卫星环境工程研究所 北京市5142信箱46分箱 100094
【出 处】
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中国真空学会2016学术年会
【发表日期】
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2016年5期
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