【摘 要】
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本文简要介绍微传感器系统发展状况，着重介绍作者所在课题组近期在微传感器系统及其应用方面的研究工作，具体介绍微型电场传感器的工作原理、敏感结构设计、敏感芯片制造技术、封装技术、微弱信号检测技术、测试标定技术、环境适应性技术，以及传感器系统在电场探空、分布式大气电场探测、人工影响天气、非接触式电压检测、绝缘子缺陷检测等方面的应用；介绍水污染检测微传感器系统研究工作，侧重介绍总磷、总氮微传感器系统的工作
【机 构】
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中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室北方基地 北京市海淀区中关村北一条9号100190
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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本文简要介绍微传感器系统发展状况，着重介绍作者所在课题组近期在微传感器系统及其应用方面的研究工作，具体介绍微型电场传感器的工作原理、敏感结构设计、敏感芯片制造技术、封装技术、微弱信号检测技术、测试标定技术、环境适应性技术，以及传感器系统在电场探空、分布式大气电场探测、人工影响天气、非接触式电压检测、绝缘子缺陷检测等方面的应用；介绍水污染检测微传感器系统研究工作，侧重介绍总磷、总氮微传感器系统的工作原理、传感器设计、敏感材料制备、微型消解单元研究，以及传感器系统在典型水域的应用验证；介绍可穿戴式心电、心阻抗监测系统的工作原理和关键技术研究。
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