【摘 要】
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分析膜片式传感器中Fabry-Perot腔长的光谱域解调方法,搭建Fabry-Perot腔干涉解调实验系统,结合基于石墨烯薄膜的Fabry-Perot腔以及由两个单模光纤端面构成的Fabry-Perot腔,实验测试了峰-峰法解调、傅里叶变换解调、最小均方误差解调方法在不同Fabry-Perot腔长范围的适用性与解调精度.结果表明,对于小于50μm的超短Fabry-Perot腔,峰-峰法解调精度更高
【机 构】
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北京航空航天大学,“新型惯性仪表与导航系统技术”国防重点学科实验室,北京100191;北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院,北京100191
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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分析膜片式传感器中Fabry-Perot腔长的光谱域解调方法,搭建Fabry-Perot腔干涉解调实验系统,结合基于石墨烯薄膜的Fabry-Perot腔以及由两个单模光纤端面构成的Fabry-Perot腔,实验测试了峰-峰法解调、傅里叶变换解调、最小均方误差解调方法在不同Fabry-Perot腔长范围的适用性与解调精度.结果表明,对于小于50μm的超短Fabry-Perot腔,峰-峰法解调精度更高;而当腔长大于100μm以上时,傅里叶变换解调和最小均方误差解调方法效果更好,但其解调精度与干涉光谱的条纹数成正向递增关系.这为石墨烯膜微腔压力传感器的腔长设计与薄膜挠度确定提供了方法指导。
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