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本文介绍了作者在真空微电子压力传感器研究方面所做的工作,以及最新研究进展和实验结果,并就真空微电子压力传感器的优缺点及其发展阐述了个人观点.
真空微电子压力传感器研究
【摘 要】
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本文介绍了作者在真空微电子压力传感器研究方面所做的工作,以及最新研究进展和实验结果,并就真空微电子压力传感器的优缺点及其发展阐述了个人观点.
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室(北京)
【出 处】
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第八届中国场致发射与真空微电子学学术会议
【发表日期】
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2001年12期
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