【摘 要】
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本文介绍了一款220GHz低噪放模块的封装设计。该低噪放模块选用的中电13所的硅基低噪放芯片;文章详细介绍了亚毫米波频段低损耗封装方法,包括悬置微带探针、DC供电、键合金丝
【机 构】
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中国工程物理研究院微系统与太赫兹研究中心; 中国工程物理研究院电子工程研究所;
【基金项目】
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国防基础科研计划支持(JCKY2017212C002,JCKY2016212C045);国家重点基础研究发展计划973计划支持(2015CB755406);科学挑战专题资助(TZ2018003)
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本文介绍了一款220GHz低噪放模块的封装设计。该低噪放模块选用的中电13所的硅基低噪放芯片;文章详细介绍了亚毫米波频段低损耗封装方法,包括悬置微带探针、DC供电、键合金丝等设计方法。最终研制出一款拥有WR4标准波导接口的220GHz低噪放模块,测试证明该模块小信号增益在195GHz-223GHz频带内高于15dB,在206.7GHz频点最高增益可达到21.1d B;饱和输出功率在205GHz-225GHz大于3mW,214GHz频点为最大功率输出点,可达到4m W。
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