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采用直流电弧喷射法在钼衬底上生长厚度为500 m的自支撑多晶金刚石膜，通过X射线衍射仪和拉曼测试系统对其晶体质量进行表征.拉曼光谱表明该金刚石无杂相，除去1332cm-1处出现十分明锐的金刚石特征峰外，不存在任何非金刚石峰.X射线衍射的结果表明，金刚石自支撑膜具有明显的(110)择优取向.经抛光处理后金刚石表面平整光滑，粗糙度(Rms)仅为0.569nm.对该样品进行氢等离子体处理形成p型表面沟道，并实现国内首支具有射频特性的金刚石场效应晶体管，最大振荡频率fmax为2.5GHz.