【摘 要】
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材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一，近年来，由离子参与和等离子体增强的各种气相沉积技术为解决这一问题提供了有效的途径。物理气相沉积(PVD)是制
【机 构】
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广州有色金属研究院广东广州510651
【出 处】
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07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会
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材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一，近年来，由离子参与和等离子体增强的各种气相沉积技术为解决这一问题提供了有效的途径。物理气相沉积(PVD)是制备硬质薄膜的主要方法之一，许多技术已实现工业化生产。本文综述了物理气相沉积技术制备的各种机械功能薄膜的性能及应用情况，并总结了广州有色金属研究院在这方面的研究开发工作。
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