离子注入不锈钢材料耐蚀改性的研究

来源 :中国腐蚀与防护学会建会十五周年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huanghuimin1224
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SOI(Silicom on Insulator)技术是21世纪的硅集成电路技术。离子注入SIMOX(Separation by Implanted Oxyen)材料是最重要的SOI材料。报道了氧注入单晶硅,经过高温长时间退火后,形成质量很好的SIMOX薄膜材料。用多种方法测量了SOI薄膜材料的表面硅
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该文主要介绍了泥浆泵缸套离子注入表面改性、航空液压泵配流盘离子注入表面改性两项工艺。离子注入处理后的缸套使用寿命提高了2倍,配流盘单位行程回油量下降到处理前的1/16。
该文主要介绍了泥浆泵缸套离子注入表面改性、航空液压泵配流盘离子注入表面改性两项工艺离子注入处理后的缸套使用寿命提高了2倍,配流盘单位行程回油量下降到处理前的1/6。
随着离子注入材料表面改性技术在科研和工业领域的日益发展,人们对离子注入的核心部件-离子源的要求日益提高。为获得大面积、强流和高能且均匀的离子束流,一种新型的高能强流大