金刚石划片机在微波混合电路中的应用

来源 :第十六届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lele
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金刚石划片机具有切割精度高,切割边缘整齐等优点,所以在微波混合电路基板切割中得到广泛应用.本文分析了金刚石划片机的工作原理以及影响切割品质的因素,根据不同基板材料提出了相应的切割工艺参数以供参考。
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