【摘 要】
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二十一世纪的微电子科学与技术,将使高度集成的IC发展到将整个系统集成在一个系统芯片SOC(System on a chip)上.SOC技术的基础就是材料的集成,将各种不同性能,不同用途的材料与半导体材料结合起来,以此来完成整个系统的性能优化.LiTaO单晶具有良好的电声学性能,包括这种晶体制成的器件具有良好的抗高温性能,不退磁,不溶于水,化学性质稳定,具有良好的压电性能,机电藕合系数高,声学传输损
【机 构】
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上海微系统与信息技术研究所半导体薄膜国家工程中心(上海)
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
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二十一世纪的微电子科学与技术,将使高度集成的IC发展到将整个系统集成在一个系统芯片SOC(System on a chip)上.SOC技术的基础就是材料的集成,将各种不同性能,不同用途的材料与半导体材料结合起来,以此来完成整个系统的性能优化.LiTaO<,3>单晶具有良好的电声学性能,包括这种晶体制成的器件具有良好的抗高温性能,不退磁,不溶于水,化学性质稳定,具有良好的压电性能,机电藕合系数高,声学传输损耗低,是优良的传声介质和高频换能器的材料,广泛应用于电光器件、激光倍频器、声光器件、高频声学表面波滤波器等.
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