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经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用.LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1毫米以上,是其他任何加工技术所不能够相比的.这一优越的加工能力为在微机械制造中发挥作用,提供了坚实的技术基础.
北京同步辐射装置LIGA技术研究
【摘 要】
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经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用.LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构厚度可在1毫米以上,是其他任何加工技术所不
【机 构】
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高能物理研究所同步辐射室(北京)
【出 处】
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全国先进制造技术高层论坛暨制造业自动化、信息化技术研讨会
【发表日期】
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2005年期
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