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砷化镓PHEMT功率器件具有工作频率高,输出功率密度大,效率高,功率效益高等特点.本文研制的0.5um栅长GaAs PHEMT小功率晶体管,栅宽1mm,直流跨导250ms/mm,栅漏反向击穿电压大于13V,在20GHz下最大可用增益8dB,X波段输出功率0.8W/mm,可应用于22GHz以下的窄带功率放大器和18GHz以下的宽带功放设计.