底面为(111)面半球形硅双光子响应光电探测器的研究

来源 :第十七届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:LittleCam
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双光子响应包括双光子吸收和倍频吸收。双光子响应光电探测器可以取代传统自相关装置中的倍频晶体和光电倍增管,从而构造出结构紧凑、价格便宜、调整方便、适用波长范围广的新型自相关装置。硅的双光子响应波长范围为1.2-2.1μm,恰好覆盖了光通信波长,所以高灵敏度硅双光子响应探测器在超短脉冲的自相关测量、光通信以及太赫兹波科学与技术等领域具有广阔的应用前景。本文中报道了一种两端结构的中长波同时响应型双色量子阱红外探测器,该器件能够同时读取中长波双色信息,但每个像元只需两个电极,这将使面阵器件一与读出电路互联时每像元仅需一个铟柱,因而制作大面阵器件时后续工艺大为简化,且只需使用单色读出电路即可实现双色探测,降低了对读出电路的要求。文中介绍了其材料生长和器件制作技术,进行了单管测量,并对其工作原理进行了分析。
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