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直接键合也叫熔接结合、片结合或者是两个清洁面的原子结合,有时也指没有胶水的结合.文章通过实验进行阐释,重点研究直接键合的接触面对谐振器性能的影响.
直接键合的石英晶体谐振器
【摘 要】
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直接键合也叫熔接结合、片结合或者是两个清洁面的原子结合,有时也指没有胶水的结合.文章通过实验进行阐释,重点研究直接键合的接触面对谐振器性能的影响.
【机 构】
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北京晨晶电子有限公司
【出 处】
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压电晶体2003年年会
【发表日期】
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2003年10期
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