【摘 要】
：
本文对于在Spindt型场发射阵列阴极制作过程中,应用高密度感应耦合等离子体(InductivelyCoupledPlasma)作为微细加工手段,进行了理论分析和工艺研究.讨论了刻蚀过程中的几个
【机 构】
：
北京真空电子技术研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,100016
【出 处】
：
中国电子学会真空电子学分会第十五届学术年会暨军用微波管研讨会
论文部分内容阅读
本文对于在Spindt型场发射阵列阴极制作过程中,应用高密度感应耦合等离子体(InductivelyCoupledPlasma)作为微细加工手段,进行了理论分析和工艺研究.讨论了刻蚀过程中的几个关键工艺参数,如感应耦合功率、刻蚀功率以及反应气压对于刻蚀速率和刻蚀质量的影响,摸索了得到理想的Mo栅极微孔阵列图形的工艺条件.
其他文献
本文通过对阴极发射基体制造工艺的研究和控制,结合相应的检测方法,实现亚微米级含钪钨粉在阴极发射体制造中的工程化应用,从而改善钨基体的孔隙均匀性,有利于扩散阴极发射性
本文简要介绍了自行设计制造的阴极微区非均匀发射测试系统;钡钨阴极在不同温度,支取不同发射电流密度下发射电流的非均匀性,给出一些实验结果.
本文将简要介绍双孔度金属多孔阴极的结构、工艺及性能.双孔度金属多孔阴极是在M-型阴极的工艺基础上,采用特殊结构制成的一种长寿命阴极.与一般M-型阴极不同的是,它除了具有
本文通过介绍美国两家阴极公司产品的系列化、标准化以及生产规模等方面,对比我国阴极制造的现状,阐述了我国阴极工程化乃至整个电真空器件工程化技术研究的迫切性.
去年十一月下旬,福建省福清县某商店给新宁县农产品公司驻东安转运站发来一车皮棉,共三六·六吨。廿九日卖方派三名业务人员来交货,并提出每吨要价二千一百元,第一次洽谈‘
本文首先分析了微波衰减材料的电磁参数及其对微波电真空器件工作的重要性,然后简单介绍了电磁参数的传输/反射法测量原理,最后直观地分析了测量中的一些误差.
本文主要介绍了一种新的合金阴极基体的制备方式.采用液固掺杂的方法混合钨铱(W-Ir)金属粉末,可以获得组分分布均匀,颗粒度可控的合金粉末,通过压制毛坯,真空烧结,制备成孔度
本文对影响阴极-热子组件加热功率的几个因素进行了分析,并从有效加热面的增大、阴极支持筒材料的选择、氧化铝绝缘层烧结工艺以及装架工艺等几个方面进行了改进,提高了阴极-
本文简要介绍具有15秒快速启动、8﹪工作比、6GHz～18GHz宽频带行波管用的阴极,主要应用于电子战作有源诱饵干扰.本文利用传热学的基本理论,对普通热丝、阴极结构进行了改进,采用
20年前,女权运动席卷美国。那时,妇女们不甘仅仅成为一个贤妻良母,她们蔑视传统的“核心家庭”中妻子的位置。她们既要享受家庭中夫妻恩爱的天伦之乐,又梦想着获得事业上成