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采用回流加固结构的微波功率器件的电热应力特性
采用回流加固结构的微波功率器件的电热应力特性
来源 :第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wdwm
【摘 要】
:
该文在回流效应和实验研究的基础上,结合器件具体结构和制备工艺,优化设计了回流加固结构,制备了六种结构样管。建立了一套自动测试系统,进行了电热加速应力试验,结果表明:采用一个
【作 者】
:
孙英华
李志国
程尧海
张万荣
【机 构】
:
工业大学电子工程系
【出 处】
:
第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
回流加固结构
微波功率器件
自动测试系统
加速应力试验
制备工艺
优化设计
实验研究
加固效果
缝隙宽度
电徙动
样管
效应
能力
抗热
基础
电热
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该文在回流效应和实验研究的基础上,结合器件具体结构和制备工艺,优化设计了回流加固结构,制备了六种结构样管。建立了一套自动测试系统,进行了电热加速应力试验,结果表明:采用一个缝隙、缝隙宽度为3μm的结构回流加固效果最好,抗热电徙动能力最强。
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