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微重力下GaSb-GaCl<,3>闭管气相外延的热力学分析
【机 构】
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中国科学院半导体材料科学实验室,国家微重力实验室(北京)
【出 处】
：
第七届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
：
2000年期
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