【摘 要】
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本文研究了不同温度下不同的真空热处理方式对碳膜的电学、光学和机械性能的影响,为找到合适热处理温度点来消除碳膜内应力来尽量保持碳膜的主要优良性能打下了基础。
【机 构】
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陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安工业大学,710032
【出 处】
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TFC'07全国薄膜技术学术研讨会
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本文研究了不同温度下不同的真空热处理方式对碳膜的电学、光学和机械性能的影响,为找到合适热处理温度点来消除碳膜内应力来尽量保持碳膜的主要优良性能打下了基础。
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