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利用单束调制离子减薄技术，对SrTiO3截面样品的同一位置进行间断性轰击，得到了厚度均匀的透射电镜截面样品。
单束调制离子减薄制备大面积均匀厚度TEM样品
【摘 要】
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利用单束调制离子减薄技术，对SrTiO3截面样品的同一位置进行间断性轰击，得到了厚度均匀的透射电镜截面样品。
【机 构】
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中国科学院物理研究所先进材料及结构分析实验室,北京100190
【出 处】
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2012年全国电子显微学学术会议
【发表日期】
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2012年9期
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