计量型扫描电子显微镜相关论文
本文提出了一种新的基于位移台移动方式的扫描电子显微镜的成像方法。在完成了激光干涉测量技术与扫描成像结合基础上,建立计量......
会议
计量型扫描电子显微镜(M-SEM,计量电镜)是一种准确测量纳米结构尺寸的分析设备,通过扫描电子显微镜(SEM,扫描电镜)与先进的微纳位......
为了解决扫描电子显微镜(SEM)在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足,实现SEM测量值的量值传递与溯源,研制了一套计量型SEM......
为提高计量型扫描电镜位移系统的稳定性及测量精度,对位移系统中的机械位移台进行仿真分析,获取相关振动参数。依据机械位移台工况......