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微缺陷对ＦＺＳｉ片电阻率稳定性的影响
【机 构】
：
工业大学半导体材料研究所
【出 处】
：
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
：
1995年期
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