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N<'->/P<'+>异型高阻厚层硅外延材料
【机 构】
:
电子器件研究所
【出 处】
:
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
:
1995年期
其他文献
含氮CZ硅的电学性能完全有别于含氮的FZ硅和无氮的CZ硅,研究表明,含氮CZ硅能形成一种与氮有关的新施主,它随氮氧复合物的形成而形成,随氮氧复合物的消失而消失。文章进一步研究了氮-新施主