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金属诱导单一方向横向晶化和固体倍频激光退火技术在多晶硅薄膜晶体管中的应用
金属诱导单一方向横向晶化和固体倍频激光退火技术在多晶硅薄膜晶体管中的应用
来源 :第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:duzitengnihaoma
【摘 要】
:
本文对金属诱导单一方向横向晶化(MIUC)与不同能量脉冲的三倍频固体激光退火技术结合,提高多晶硅薄膜晶体管性能,进行了深入的探讨和研究.该薄膜晶体管在优化的激光能量下退
【作 者】
:
孟志国[1]吴春亚[1]熊绍珍[1]王文[2]郭海成[2]
【机 构】
:
南开大学信息学院光电子所,天津,300071
【出 处】
:
第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
:
2005年期
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本文对金属诱导单一方向横向晶化(MIUC)与不同能量脉冲的三倍频固体激光退火技术结合,提高多晶硅薄膜晶体管性能,进行了深入的探讨和研究.该薄膜晶体管在优化的激光能量下退火,可以使得场效应迁移率增加近一倍.器件的多种性能和参数的均匀性与激光退火条件密切相关,并成规律性变化.
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多肽
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方法
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会议
快速热处理
氮化硅薄膜
折射率
退火时间
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性能提高
氧气氛
致密
氧化
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厚度
氮气
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会议
组合式
外固定架治疗
下肢骨
感染治疗
术后骨感染
骨折内固定
运用
疗效
本科
报告
肘部尺神经卡压症的手术治疗
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会议
肘部尺神经卡压症
周围神经功能
手术治疗
手术患者
时间平均
评价标准
手外科
学会
随访
中医动观与骨伤
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会议
掌背动脉
岛状肌皮瓣
治疗手段
指骨
骨髓炎
抗感染能力
一期愈合
解剖关系
技术操作
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颜色
温度
随访
手指
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