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3″硅片CVD外延电阻丝辐射加热稳态过程分析
【机 构】
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大学
【出 处】
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第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
:
1995年期
其他文献
采用非洲长药野生稻与柳州野生稻杂交转育,育成了早显A新不育系。利用这一种质资源导入其他育种材料,将实现早熟基因在杂种优势中的利用,从而可克服杂交水稻早熟性与丰产性的矛盾