【摘 要】
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以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象，首先对炬内的多场耦合关系进行理论分析，然后对经典的流体动力学方程组加以修正，引入与电磁场有关的多个源项，并结合麦克斯韦方程组(全欧姆定律、电流连续方程等)，建立炬内的磁流体动力学多场耦合模型，最后定量模拟外部载流螺管线圈的电流大小对等离子体传热流动的影响。结果表明，螺管线圈的电流越大，则等离子体的旋转速度越大，温度的均匀性越好，有利于金刚石膜的沉积。
【机 构】
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西南交通大学力学与工程学院，成都 610031
【出 处】
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中国工程热物理学会传热传质学2009年学术会议
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以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象，首先对炬内的多场耦合关系进行理论分析，然后对经典的流体动力学方程组加以修正，引入与电磁场有关的多个源项，并结合麦克斯韦方程组(全欧姆定律、电流连续方程等)，建立炬内的磁流体动力学多场耦合模型，最后定量模拟外部载流螺管线圈的电流大小对等离子体传热流动的影响。结果表明，螺管线圈的电流越大，则等离子体的旋转速度越大，温度的均匀性越好，有利于金刚石膜的沉积。
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