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该文通过试验分析了抛光雾产生的机理和影响因素；并在试验的基础，优化选择了抛光工艺技术，有效地控制了抛光雾，取得较好的经济效益和社会效益。
硅片抛光雾的分析研究
【摘 要】
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该文通过试验分析了抛光雾产生的机理和影响因素；并在试验的基础，优化选择了抛光工艺技术，有效地控制了抛光雾，取得较好的经济效益和社会效益。
【机 构】
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单晶硅厂
【出 处】
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第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1995年期
其他文献
玉米种子发芽试验,其发芽床一般采用砂床或毛巾卷法,由于采用砂做发芽床,要掌握好水分有一定难度,并要经常加水;毛巾卷法也存在数取已发芽种子不便,通透性差等弊端。为了探讨