论文部分内容阅读
一、前言 随着光伏产业的发展,激光在太阳电池中得到越来越多的应用,如激光烧结(Laser Fired Contacts),激光开槽(Laser Grooving),激光刻边(Laser Edge Isolation),激光掺杂(Laser Doping)二、激光喷涂掺杂系统 喷雾法制备掺杂源:简便、产量高、成本低,适用于工业化生产;全面超声波喷雾激光掺杂